Efficient plasma-surface interaction surrogate model for sputtering processes based on autoencoder neural networks

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标题	Efficient plasma-surface interaction surrogate model for sputtering processes based on autoencoder neural networks 相关领域自编码材料科学溅射人工神经网络等离子体曲面（拓扑）替代模型人工智能纳米技术计算机科学机器学习物理薄膜量子力学几何学数学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001485
DOI	10.1116/6.0001485 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Tobias Gergs; Borislav Borislavov; Jan Trieschmann 出版日期：2021-12-22
求助人	Ff 在 2025-10-26 19:44:58 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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