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标题
Deformation characteristics and subsurface damage of monocrystalline silicon under repeated nano-scratching
重复纳米划伤下单晶硅的变形特征及亚表面损伤
相关领域
单晶硅 刮伤 材料科学 纳米- 硅 变形（气象学） 复合材料 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.109169
DOI
10.1016/j.mssp.2024.109169 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Yang He; Liangchi Zhang
出版日期：2024-11-26
求助人
路漫漫其修远兮 在 2025-06-16 14:49:30 发布自中国，悬赏 10 积分
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