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 Enhancement of performance and reliability in MOSFETs via high-pressure microwave annealing 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Geon-Hyeong Kang; Hunbeom Shin; Seungyeob Kim; Lingwei Zhang; Giuk Kim; et al 出版日期：2025-01-01 |
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(2025-6-4)
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