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High-uniformity atomic layer deposition of superconducting niobium nitride thin films for quantum photonic integration
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网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2633-4356/ad0aa5/...
DOI
10.1088/2633-4356/ad0aa5 doi
其它 期刊：Materials for Quantum Technology
作者：Ciaran T. Lennon; Yi Shu; J. Brennan; Devendra K. Namburi; Vinay Koshy Varghese; et al
出版日期：2023-11-08
求助人
orixero 在 2026-01-05 11:21:11 发布自浙江，悬赏 10 积分
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