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 Technique for Investigation of the Shape Changes of Wafers and Thin-Film Membranes by Using Geomorphometric Approaches 利用地貌测量方法研究晶片和薄膜形状变化的技术
相关领域
薄脆饼
材料科学
膜
薄膜
复合材料
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化学
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期刊：Technical Physics 作者：А. А. Дедкова; Igor V. Florinsky; N. A. Djuzhev 出版日期：2024-02-01 |
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