Defect analysis in thermal nanoimprint lithography - 科研通

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标题	Defect analysis in thermal nanoimprint lithography 热纳米压印印刷中的缺陷分析相关领域纳米压印光刻材料科学模具复合材料热膨胀压力（语言学）变形（气象学）玻璃化转变热的断裂（地质）聚合物纳米光刻平版印刷术基质（水族馆）光电子学制作医学替代医学物理病理语言学哲学海洋学气象学地质学
网址	https://doi.org/10.1116/1.1629289
DOI	10.1116/1.1629289 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Yoshihiko Hirai; Satoshi Yoshida; Nobuyuki Takagi 出版日期：2003-12-05
求助人	11100 在 2025-03-20 17:42:36 发布自浙江，悬赏 10 积分
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