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 Low-Temperature Dechlorosilylation Chemistry for Area-Selective Deposition of Ge2Sb2Te5 and Its Mechanism in Nanopatterns Ge2Sb2Te5区域选择性沉积的低温脱氯硅烷化学及其在纳米图案中的机理
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锡
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期刊：Chemistry of Materials 作者：Jyoti Sinha; Leonidas Gallis; Jan‐Willem J. Clerix; Marleen van der Veen; Jerome W. F. Innocent; et al 出版日期：2024-06-11 |
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