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 Mechanical and optical properties of amorphous silicon nitride-based films prepared by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积非晶氮化硅基薄膜的力学和光学性能
相关领域
材料科学
纳米压痕
电子回旋共振
薄膜
光电子学
等离子体增强化学气相沉积
化学气相沉积
氮化硅
氮化硅
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硅
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物理
量子力学
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期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Brahim Ahammou; Paramita Bhattacharyya; Christophe Levallois; Fahmida Azmi; Jean-Pierre Landesman; et al 出版日期：2023-08-23 |
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