| 标题 |
  Plasma etching and surface characteristics depending on the crystallinity of the BaTiO3 thin film BaTiO3薄膜结晶度的等离子体刻蚀和表面特性
相关领域
结晶度
材料科学
薄膜
电介质
蚀刻（微加工）
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氧化物
光电子学
复合材料
纳米技术
冶金
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials Research Express 作者：Han Byeol Lee; Young-Hee Joo; Harshada Patil; Gwan-Ha Kim; In-Su Kang; et al 出版日期：2022-12-07 |
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uscd_del
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