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 Influence of the Ozone Dose Time during Atomic Layer Deposition on the Ferroelectric and Pyroelectric Properties of 45 nm-Thick ZrO2 Films 原子层沉积过程中臭氧剂量时间对45 nm厚ZrO2薄膜铁电和热释电性能的影响
相关领域
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期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Bohan Xu; Liam Collins; Kristina M. Holsgrove; Thomas Mikolajick; Uwe Schroeder; et al 出版日期：2023-03-30 |
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