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Effect of bias voltage on the structural properties of WN/NbN nanolayer coatings deposited by cathodic-arc evaporation
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DOI
10.1088/1742-6596/2712/1/012014 doi
其它 期刊:Journal of Physics Conference Series
作者:Kateryna Smyrnova; Martin Sahul; Marián Haršáni; Ľubomír Čaplovič; В. М. Береснев; et al
出版日期:2024-02-01
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