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 Low-temperature deuterium annealing to improve performance and reliability in a MOSFET 提高MOSFET性能和可靠性的低温氘退火
相关领域
退火（玻璃）
MOSFET
材料科学
氘
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期刊：Solid-State Electronics 作者：Ji‐Man Yu; Dong-Hyun Wang; Ja-Yun Ku; Joon‐Kyu Han; Daehan Jung; et al 出版日期：2022-07-21 |
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