Effect of hydrogen dilution on crystalline properties of nano-crystalline silicon thin films in fast growth

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标题	Effect of hydrogen dilution on crystalline properties of nano-crystalline silicon thin films in fast growth 相关领域稀释材料科学氢硅晶体硅薄膜化学气相沉积分析化学（期刊）沉积（地质）化学工程纳米技术化学冶金有机化学热力学生物物理工程类古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.7498/aps.58.565
DOI	10.7498/aps.58.565 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Qiu Sheng-Hua; Chengzhao Chen; Liu Cui-Qing; Wu Yuan-Dan; Ping Li; et al 出版日期：2009-01-01
求助人	Elisbaiqueen 在 2025-10-13 22:54:57 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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