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Combining Experimental and DFT Investigation of the Mechanism Involved in Thermal Etching of Titanium Nitride Using Alternate Exposures of NbF5and CCl4, or CCl4Only
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期刊:Advanced Materials Interfaces 作者:Varun Sharma; Suresh Kondati Natarajan; Simon D. Elliott; Tom E. Blomberg; Suvi Haukka; et al 出版日期:2021-10-22 |
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