Vacuum ultraviolet enhanced atomic layer etching of ruthenium films

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标题	Vacuum ultraviolet enhanced atomic layer etching of ruthenium films 钌薄膜的真空紫外增强原子层刻蚀
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000742
DOI	10.1116/6.0000742 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Brennan M. Coffey; Himamshu C. Nallan; John G. Ekerdt 出版日期：2021
求助人	xiaoliu 在 2025-02-17 13:53:01 发布自浙江，悬赏 10 积分
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