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  Experimental investigation of the electromagnetic effect and improvement of the plasma radial uniformity in a large-area, very-high frequency capacitive argon discharge 大面积甚高频容性氩放电电磁效应及改善等离子体径向均匀性的实验研究
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期刊：Plasma Science and Technology 作者：Daoman Han; Zi-Xuan Su; Kai Zhao; Yong-Xin Liu; Fei Gao; et al 出版日期：2021-04-12 |
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