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 Growth of single-crystal diamond by microwave plasma CVD with high precursor utilization using cyclic gas injection and control of carbonaceous species content with optical emission spectroscopy 循环注气微波等离子体CVD高前驱体利用率生长金刚石单晶及发射光谱控制碳质含量
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期刊：Vacuum 作者：Yicun Li; Bing Dai; V.G. Ralchenko; Jilei Lyu; Xiaobin Hao; et al 出版日期：2022-09-24 |
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