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标题
Material evaluation for engineering a novel crucible setup for the growth of oxygen free Czochralski silicon crystals
用于生长无氧直拉硅晶体的新型坩埚的材料评价
相关领域
坩埚(大地测量学) 材料科学 氮化硅 石墨 涂层 单晶硅 晶体硅 冶金 复合材料 矿物学 化学 计算化学
网址
DOI
10.1016/j.jcrysgro.2022.126582 doi
其它 期刊:Journal of Crystal Growth
作者:F. Sturm; M. Trempa; Gordian Schuster; P. Götz; Rolf Wagner; et al
出版日期:2022-04-01
求助人
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