Research on contactless electroluminescence for micro-LED epitaxial wafers based on low power plasma discharge

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标题	Research on contactless electroluminescence for micro-LED epitaxial wafers based on low power plasma discharge 基于低功率等离子体放电的微LED外延非接触电致发光研究相关领域电致发光薄脆饼材料科学光电子学发光二极管电致发光显示器导电体纳米技术复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2642301
DOI	10.1117/12.2642301 doi
其它	期刊：作者：Peng Yu; Kun Wang; Chaoxing Wu; Yun Ye; Tailiang Guo 出版日期：2022-12-19
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