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 Simulation of Nitrogen Indiffusion and Its Impact on Silicon Wafer Strength 相关领域
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期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science 作者：Timo Müller; G. Kissinger; Dawid Kot; Michael Gehmlich; Michael Boy; et al 出版日期：2021-07-30 |
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(2025-6-4)
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