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Area-selective atomic layer deposition of titanium oxide and nitride on vertically aligned carbon nanotubes patterned by Aerosol Jet Printing for 3D Microsupercapacitors
三维微型超级电容器用气溶胶喷射印刷垂直排列碳纳米管上氧化钛和氮化物的区域选择性原子层沉积
相关领域
材料科学
碳纳米管
纳米技术
氮化钛
原子层沉积
氧化锡
制作
电极
图层(电子)
锡
纳米复合材料
钛
光电子学
氮化物
氧化物
冶金
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医学
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其它 |
期刊:Journal of power sources 作者:Hayley Zhang; Ben Wang; Billyde Brown 出版日期:2022-12-01 |
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