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 Optical, structural, and mechanical properties of silicon oxynitride films prepared by pulsed magnetron sputtering 相关领域
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期刊：Applied Optics 作者：Chien-Jen Tang; Cheng‐Chung Jaing; Chuen‐Lin Tien; Wei-Chiang Sun; Shih-Chin Lin 出版日期：2016-12-17 |
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