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 Characteristics of Silicon Oxynitride Barrier Films Grown on Poly(ethylene naphthalate) by Ion-Beam-Assisted Deposition 离子束辅助沉积法在聚萘二甲酸乙二醇酯上生长氮氧化硅阻挡膜的特性
相关领域
材料科学
聚萘二甲酸乙二醇酯
氮化硅
电子束物理气相沉积
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Do Kyung Lee; Han Jae Shin; Sang Ho Sohn 出版日期：2010-05-20 |
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