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 Comparison of positive tone versus negative tone resist pattern collapse behavior 正色调与负色调抗蚀剂图案塌陷行为的比较
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Wei-Ming Yeh; David E. Noga; Richard A. Lawson; Laren M. Tolbert; Clifford L. Henderson 出版日期：2010-11-01 |
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