Ultrathin ZrO2 thickness control on TiO2/ZrO2 core/shell nanoparticles using ZrO2 atomic layer deposition and etching

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标题	Ultrathin ZrO2 thickness control on TiO2/ZrO2 core/shell nanoparticles using ZrO2 atomic layer deposition and etching 利用ZrO2原子层沉积和刻蚀控制TiO2/ZrO2核/壳纳米粒子的超薄ZrO2厚度相关领域原子层沉积材料科学蚀刻（微加工）图层（电子）沉积（地质）纳米颗粒芯（光纤）纳米技术化学工程光电子学复合材料地质学古生物学沉积物工程类
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003781
DOI	10.1116/6.0003781 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Janine Sempel; Marja‐Leena Kääriäinen; Troy A. Colleran; Alejo M. Lifschitz; Steven M. George 出版日期：2024-08-20
求助人	Ming 在 2025-04-29 16:20:57 发布自湖北，悬赏 30 积分
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