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专利、报告等 一种MEMS器件、MEMS微镜系统和MEMS微小投影仪
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申请(专利)号:CN201621103386.X 申请日: 2016-09-30 申请人: 意法半导体股份有限公司 发明人: M·默利; R·卡尔米纳蒂; M·罗西 |
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