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 (Invited) Alternative Metals for Beyond-Cu Interconnects （邀请）用于超铜互连的替代金属
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期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Christoph Adelmann; Kiroubanand Sankaran; Shibesh Dutta; Anshul Gupta; Jean-Philippe Soulié; et al 出版日期：2020-05-01 |
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