Optimization of Laser-induced Deep Etching for TGV Fabrication in Fused Silica

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标题	Optimization of Laser-induced Deep Etching for TGV Fabrication in Fused Silica 熔融石英中TGV激光诱导深蚀刻的优化相关领域制作蚀刻（微加工）材料科学激光器光电子学光学复合材料医学病理替代医学物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/icept59018.2023.10492062
DOI	10.1109/icept59018.2023.10492062 doi
其它	期刊：作者：Jingli Liu; Chenhui Xia; Xuefei Ming; Chunyan Yin 出版日期：2023-08-08
求助人	hearts_j 在 2025-07-04 15:50:57 发布自美国，悬赏 10 积分
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