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![]() 直拉法生长300mm单晶硅过程中的晶面传热
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期刊:International Journal of Heat and Mass Transfer 作者:Zhengxing Wang; Yongsheng Ren; Wenhui Ma; Guoqiang Lv; Mingke Tan; et al 出版日期:2024-10-02 |
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