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Characterization of 4H—SiC substrates and epilayers by Fourier transform infrared reflectance spectroscopy 傅里叶变换红外反射光谱表征4H-SiC衬底和外延层
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期刊:Chinese Physics B 作者:Lin Dong; Guosheng Sun; Zheng Liu; Xingfang Liu; Feng Zhang; et al 出版日期:2012-04-01 |
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