等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

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标题	[高分] 书籍等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者：张海洋等出版时间：2023/1/1 ISBN：9787302614395 出版社：清华大学出版社
求助人	tangtang 在 2023-08-19 09:37:14 发布自辽宁，悬赏 200 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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8个月前，求助关闭

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