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Performance of MOS Capacitor with Different Dielectric Material Simulated Using Silvaco TCAD Tools
用Silvaco TCAD工具模拟不同介电材料的MOS电容器性能
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期刊:Solid State Phenomena 作者:Lyly Nyl Ismail; Norsabrina Sihab; Nur Sa’adah Mohd Sauki 出版日期:2023-05-30 |
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