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标题
Performance of MOS Capacitor with Different Dielectric Material Simulated Using Silvaco TCAD Tools
用Silvaco TCAD工具模拟不同介电材料的MOS电容器性能
相关领域
材料科学 电容器 电介质 电容 光电子学 半导体 图层(电子) 高-κ电介质 栅极电介质 工程物理 电气工程 电压 晶体管 纳米技术 电极 化学 物理化学 工程类
网址
DOI
10.4028/p-3lc795 doi
其它 期刊:Solid State Phenomena
作者:Lyly Nyl Ismail; Norsabrina Sihab; Nur Sa’adah Mohd Sauki
出版日期:2023-05-30
求助人
坦率爆米花 在 2024-01-24 17:34:59 发布自江苏,悬赏 30 积分
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