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Experimental determination of the electro-acoustic properties of thin film AlScN using surface acoustic wave resonators
用声表面波谐振器测定AlScN薄膜电声特性的实验研究
相关领域
材料科学
纤锌矿晶体结构
薄膜
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压电系数
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锌
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期刊:Journal of applied physics 作者:Nicolas Kurz; Anli Ding; Daniel F. Urban; Yuan Lu; Lutz Kirste; et al 出版日期:2019-08-15 |
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