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Array structure of monocrystalline silicon surface processed by femtosecond laser machining assisted with anisotropic chemical etching
相关领域
材料科学 单晶硅 各向同性腐蚀 飞秒 蚀刻（微加工） 光学 激光器 光电子学 硅 沟槽（工程） 纳米技术 图层（电子） 物理 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2023.110165
DOI
10.1016/j.optlastec.2023.110165 doi
其它 期刊：Optics and Laser Technology
作者：Q P Wang; Peng Yao; Dongkai Chu; Shuoshuo Qu; Wanying He; et al
出版日期：2023-10-09
求助人
EASA 在 2025-11-19 11:04:45 发布自吉林，悬赏 10 积分
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