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Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulation of mechano-chemical reactions during chemical–mechanical polishing process of SiO2 surface by CeO2 particle
CeO2粒子化学机械抛光SiO2表面机械化学反应的紧束缚量子化学分子动力学模拟
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期刊:Applied Surface Science 作者:Arivazhagan Rajendran; Yasufumi Takahashi; Michihisa Koyama; Momoji Kubo; Akira Miyamoto 出版日期:2005-05-01 |
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