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标题
Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulation of mechano-chemical reactions during chemical–mechanical polishing process of SiO2 surface by CeO2 particle
CeO2粒子化学机械抛光SiO2表面机械化学反应的紧束缚量子化学分子动力学模拟
相关领域
化学机械平面化 分子动力学 化学反应 粒子(生态学) 化学物理 化学键 化学 量子化学 化学动力学 人口 机械化学 化学过程 计算化学 材料科学 抛光 纳米技术 分子 复合材料 有机化学 人口学 社会学 地质学 海洋学
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2004.09.126 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Arivazhagan Rajendran; Yasufumi Takahashi; Michihisa Koyama; Momoji Kubo; Akira Miyamoto
出版日期:2005-05-01
求助人
YUN 在 2023-11-13 14:48:46 发布自上海,悬赏 10 积分
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