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Interfacial band parameters of ultrathin ALD–Al2O3, ALD–HfO2, and PEALD–AlN/ALD–Al2O3 on c-plane, Ga-face GaN through XPS measurements
用XPS测量超薄AlD-Al2O3、AlD-HfO2和PeAlD-AlN/AlD-Al2O3在c面和Ga面GaN上的界面能带参数
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Jiarui Gong; Zheyang Zheng; Daniel Vincent; Jie Zhou; Jisoo Kim; et al 出版日期:2022-10-07 |
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