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 Synthesis of highly conformal titanium nitride films via tert-butyl chloride-assisted atomic layer deposition 叔丁基氯辅助原子层沉积法制备高共形氮化钛薄膜
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jinho Jeon; Heungsoo Park; Dae-Hong Ko 出版日期：2024-01-01 |
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