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 Direct writing of ZrO2on a sub-10 nm scale using an electron beam 用电子束在亚10nm尺度上直接写入ZrO2
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期刊：Nanotechnology 作者：K. R. V. Subramanian; Mohammad S. M. Saifullah; E. Tapley; Dae Joon Kang; Mark E. Welland; et al 出版日期：2003-11-14 |
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