Investigation of persulfate oxidizers in Co CMP slurry through Co surface adsorption and oxidation behaviors

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标题	Investigation of persulfate oxidizers in Co CMP slurry through Co surface adsorption and oxidation behaviors 过硫酸盐氧化剂在Co CMP浆料中的吸附和氧化行为研究相关领域吸附过硫酸盐泥浆化学工程材料科学表面改性无机化学化学有机化学催化作用复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.162287
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.162287 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Eun Su Jung; Jin Hyun Choe; Chae Yeon Lee; JinUk Yoo; Tae-Min Choi; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	小小旭呀在 2025-04-24 10:48:48 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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