Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon nanopores by electrochemical etching

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标题	Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon nanopores by electrochemical etching 电化学刻蚀制备超高长径比硅纳米孔相关领域纳米孔蚀刻（微加工）材料科学硅纳米技术反应离子刻蚀各向同性腐蚀制作光电子学医学替代医学图层（电子）病理
网址	https://doi.org/10.1063/1.4896524
DOI	10.1063/1.4896524 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Torsten Schmidt; Miao Zhang; Shun Yu; Jan Linnros 出版日期：2014-09-22
求助人	机智的白猫在 2025-07-10 16:06:54 发布自浙江，悬赏 10 积分
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