Observations on Polishing and Ultraprecision Machining of Semiconductor Substrate Materials

待确认

文献求助详情

标题	Observations on Polishing and Ultraprecision Machining of Semiconductor Substrate Materials
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S000785060...
DOI	10.1016/s0007-8506(07)60508-3 doi
其它	期刊：CIRP Annals 作者：V.C. Venkatesh; I. Inasaki; H.K. Toenshof; T. Nakagawa; I.D. Marinescu 出版日期：2007-06-30
求助人	Richard 在 2026-06-10 11:46:50 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
1天前

科研通AI6.3 机器人Lv12 上传了文件

待审核 s0007-8506(07)60508-3.pdf (815.82 KB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:46:55 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:46:52 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献

11:46:50 已向机器人发送请求
1天前

Richard Lv5 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Hello上传了应助文件

1秒前; 翩璸发布了新的文献求助10

6秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

24秒前; 陈欣瑶完成签到，获得积分10

34秒前; jszwxlll完成签到，获得积分10

34秒前; 紧张的大有发布了新的文献求助10

36秒前; 翩璸完成签到，获得积分10

51秒前; 妮可完成签到，获得积分10

1分钟前; 刘刘完成签到，获得积分10

1分钟前; 称心静枫完成签到，获得积分10

1分钟前; Owen的应助被紧张的大有采纳，获得10

1分钟前; 英姑的应助被杨乃彬采纳，获得10

1分钟前; 接q辣舞完成签到，获得积分20

1分钟前; 烟花的应助被MishimaErika采纳，获得10

1分钟前; 小蘑菇上传了应助文件

1分钟前; 欣喜的麦片发布了新的文献求助10

1分钟前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; AllRightReserved的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; x夏天完成签到，获得积分10

1分钟前; 英姑上传了应助文件

1分钟前; 杨乃彬发布了新的文献求助10

2分钟前; 慕青的应助被哈皮波采纳，获得10

2分钟前; 鹿小新完成签到，获得积分0

2分钟前; 大个上传了应助文件

2分钟前; Ava上传了应助文件

2分钟前; 七慕凉发布了新的文献求助10

2分钟前; yio完成签到，获得积分10

2分钟前; Zhiquan发布了新的文献求助10

2分钟前; ding的应助被冯尔蓝采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.1的应助被Zhiquan采纳，获得10

2分钟前; 那片梧桐那场雨完成签到，获得积分20

2分钟前; 科研通AI6.2的应助被辛勤寻凝采纳，获得10

2分钟前; 从容山槐完成签到，获得积分10

2分钟前; 慕青上传了应助文件

3分钟前; Bi8bo驳回了彭于晏的应助

3分钟前; 哈皮波发布了新的文献求助10

3分钟前; baolong关闭了baolong的文献求助

3分钟前; Owen上传了应助文件

3分钟前; 紧张的大有发布了新的文献求助10

3分钟前; 英姑的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前