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 Enhancement of Piezoelectric Response in Yttrium Aluminum Nitride (YxAl1‐xN) Thin Films 氮化钇铝（YxAl1-xN）薄膜压电响应的增强
相关领域
钇
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Shardul Pandit; Michael Schneider; Sabine Schwarz; Ulrich Schmid 出版日期：2023-09-23 |
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