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Demonstration of controllable Si doping in N-polar AlN using plasma-assisted molecular beam epitaxy
等离子体辅助分子束外延在N极性AlN中可控Si掺杂的研究
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期刊:Applied physics letters 作者:Md. Irfan Khan; Cindy Lee; Elaheh Ahmadi 出版日期:2024-02-05 |
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