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Design and Optimization of Thermal Field for PVT Method 8-Inch SiC Crystal Growth
PVT法生长8英寸SiC晶体的温度场设计与优化
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期刊:Materials 作者:Shengtao Zhang; Guoqing Fu; Hong-da Cai; Jian Yang; Guofeng Fan; et al 出版日期:2023-01-12 |
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