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标题
Sustainable Lithography Paradigm Enabled by Mechanically Peelable Resists
机械可剥离抗蚀剂实现可持续光刻范例
相关领域
抵抗 材料科学 纳米技术 平版印刷术 数码产品 纳米光刻 光电子学 制作 电气工程 工程类 图层（电子） 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1002/adma.202410978
DOI
10.1002/adma.202410978 doi
其它 期刊：Advanced Materials
作者：Lei Chen; Huikang Liang; Peng Liu; Cuihong Liu; Bo Feng; et al
出版日期：2024-11-26
求助人
苹果冰安 在 2024-12-27 14:03:50 发布自浙江，悬赏 10 积分
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