Evaluation of the quality of commercial silicon carbide wafers by an optical non-destructive inspection technique

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标题	Evaluation of the quality of commercial silicon carbide wafers by an optical non-destructive inspection technique 用光学无损检测技术评价工业碳化硅晶片的质量相关领域薄脆饼碳化硅材料科学外延可靠性（半导体）光电子学计算机科学可靠性工程功率（物理）纳米技术工程类复合材料量子力学物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2007.11.141
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2007.11.141 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Tatsuko Hatakeyama; Kyoichi Ichinoseki; K. Fukuda; Nobuhiro Higuchi; K. Arai 出版日期：2008-03-01
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