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 Insights into the atomistic behavior in diamond chemical mechanical polishing with OH environment using ReaxFF molecular dynamics simulation 用ReaxFF分子动力学模拟研究OH环境下金刚石化学机械抛光中的原子行为
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期刊：Computational Materials Science 作者：Zhuoying Shi; Zhuji Jin; Xiaoguang Guo; Song Yuan; Jiang Guo 出版日期：2019-05-09 |
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