Etching characteristics of crystal quartz by surface wave microwave induced plasma

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标题	Etching characteristics of crystal quartz by surface wave microwave induced plasma 表面波微波诱导等离子体对晶体石英的刻蚀特性相关领域等离子炬材料科学计算感应耦合等离子体氩等离子体处理等离子清洗蚀刻（微加工）微波食品加热表面粗糙度分析化学（期刊）硅等离子体等离子体刻蚀 Crystal（编程语言）大气压等离子体光电子学光学化学纳米技术复合材料有机化学程序设计语言物理量子力学色谱法图层（电子）计算机科学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2574947
DOI	10.1117/12.2574947 doi
其它	期刊：作者：Adam Bennett; Nan Yu; Marco Raciti Castelli; Guoda Chen; Fengzhou Fang 出版日期：2020-11-05
求助人	复杂的小翠在 2025-04-08 14:15:55 发布自陕西，悬赏 20 积分
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