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Micro-Nano Fabrication of Self-Aligned Silicon Electron Field Emitter Arrays Using Pulsed KrF Laser Irradiation
相关领域
材料科学
辐照
光电子学
硅
共发射极
制作
电子
激光器
纳米-
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期刊:Integrated Ferroelectrics 作者:Mohammed Zubair M. Shamim; Saydulla Persheyev; Monji Zaidi; Mohammed Usman; Mohammad Shiblee; et al 出版日期:2020-01-24 |
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