Plasma enhanced atomic layer deposition of ZnO with diethyl zinc and oxygen plasma: Effect of precursor decomposition

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标题	Plasma enhanced atomic layer deposition of ZnO with diethyl zinc and oxygen plasma: Effect of precursor decomposition 二乙基锌氧等离子体增强ZnO原子层沉积：前体分解的影响相关领域原子层沉积锌基质（水族馆）分解化学分析化学（期刊）沉积（地质）氧气限制激进的图层（电子）环境化学有机化学生物工程类古生物学沉积物机械工程生态学
网址	https://doi.org/10.1116/1.4961885
DOI	10.1116/1.4961885 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Triratna Muneshwar; Gem Shoute; Douglas W. Barlage; Ken Cadien 出版日期：2016-08-29
求助人	林小雨在 2024-02-22 10:17:34 发布自福建，悬赏 10 积分
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